QIII SM表面微粒子計數(shù)器表面潔凈分析儀

粒子量測范圍：0.3um - 10um 通道：0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0um 傳感器：雷射二極管顯示屏幕：7 英寸 WVGA，觸控屏幕，帶有縮放功能數(shù)據(jù)輸出：USB 端口、以太網(wǎng)絡、WiFi (選配) 語言：英文、中文、日文、韓文尺寸和重量：寬12英寸X 深12英寸X 高9英寸，26.5 磅輸入電源：100-240 VAC，50/60 赫茲電池：2顆鋰電池，可熱插入

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產(chǎn)品描述

- 商品名稱: QIII SM表面微粒子計數(shù)器表面潔凈分析儀
- 商品編號: QIII SM
粒子量測范圍：0.3um - 10um 通道：0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0um 傳感器：雷射二極管顯示屏幕：7 英寸 WVGA，觸控屏幕，帶有縮放功能數(shù)據(jù)輸出：USB 端口、以太網(wǎng)絡、WiFi (選配) 語言：英文、中文、日文、韓文尺寸和重量：寬12英寸X 深12英寸X 高9英寸，26.5 磅輸入電源：100-240 VAC，50/60 赫茲電池：2顆鋰電池，可熱插入

QIII SM表面微粒子計數(shù)器表面潔凈分析儀

規(guī)格說明
粒子量測范圍：0.3um - 10um
通道：0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0um
傳感器：雷射二極管
顯示屏幕：7 英寸 WVGA，觸控屏幕，帶有縮放功能
數(shù)據(jù)輸出：USB 端口、以太網(wǎng)絡、WiFi (選配)
語言：英文、中文、日文、韓文
尺寸和重量：寬12英寸X 深12英寸X 高9英寸，26.5 磅
輸入電源：100-240 VAC，50/60 赫茲
電池：2顆鋰電池，可熱插入

美國Pentagon Technologies ST表面塵埃粒子理化分析儀是當今行業(yè)標準的測量工具及過程控制表面顆粒污染解決方案專家.

更加有效管控表面粒子在0.1 um范圍成為了至關重要的產(chǎn)量良率及過程控制測量的重要指標。
Pentagon Technologies針對從submicron至deep submicron (0.18, 0.13..) 的Production機臺, 建立了特別的PM procedure可降低50% Test Wafer的消耗量及增加OEF(Overall Equipment Effectiveness), 其應用于各種Thin Film( PVD, CVD..), Etching and Diffusion Equipments. 以及工作臺面積臺表面潔凈度等的驗證.
Pentagon Technologies 亦針對Fab整體的contamination可提供詳細的偵測及評估進而提高OFE (Overall Fab Effectiveness), 這可提供QA人員非常advanced的幫助。

適合使用單位:
•適合客戶群: 半導體黃光, 蝕刻制程, 零件清洗商,設備清潔維護, 光電廠, 玻璃基板廠等
•適合單位 : PVD, CVD, Photo, Ion Plant, YE, QA, QC , Microntation , Etch, Diffusion.
關鍵詞:
- 表面
- 英寸
- pentagon
- 適合
- technologies
- 粒子
- fab
- qa
- pvd