PRODUCT CENTER/產(chǎn)品中心

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SFP-QV表面塵埃粒子計數器


檢測精度 0.3μm(0.1μm可定制) 檢測通度 0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道(可定制:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm) 計數效率 0.3μm? 50%±20%(第一粒徑通道)? 0.5μm? 100%±10%(第二粒徑通道) 采樣流量 28.3L/min? ±5%,可通過(guò)觸摸屏控制自行調整 采樣時(shí)間 0~24h 重復性 相對標準偏差≤10% 粒徑準確度 相對誤差≤10% 自?xún)魰r(shí)間 ≤10 min

  • 產(chǎn)品描述
  • 產(chǎn)品特色
  • 應用范圍
  • 技術(shù)參數
    • 商品名稱(chēng): SFP-QV表面塵埃粒子計數器
    • 商品編號: SFP-QV

    檢測精度 0.3μm(0.1μm可定制) 檢測通度 0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道(可定制:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm) 計數效率 0.3μm? 50%±20%(第一粒徑通道)? 0.5μm? 100%±10%(第二粒徑通道) 采樣流量 28.3L/min? ±5%,可通過(guò)觸摸屏控制自行調整 采樣時(shí)間 0~24h 重復性 相對標準偏差≤10% 粒徑準確度 相對誤差≤10% 自?xún)魰r(shí)間 ≤10 min

    SFP-QV表面塵埃粒子計數器

     

      

    Surface Particle QV 表面塵埃粒子計數器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導體機臺等表面所附著(zhù)的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內的數量。

    本儀器的核心零部件(光學(xué)傳感器)及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來(lái)保證該產(chǎn)品的測量精度。

    本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作,并經(jīng)表面鈍化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作,檢測光學(xué)傳感器采用美國進(jìn)口整機,吸氣的氣泵為旋片式進(jìn)口氣泵,并可通過(guò)流量傳感器來(lái)自動(dòng)調節氣泵的運行流量,使其保持在一個(gè)穩定的檢測流量范圍內,表面測試探頭根據德國同類(lèi)產(chǎn)品進(jìn)行改良優(yōu)良,并配有防靜電軟管與主機連接,其于用排氣及吸氣過(guò)濾的囊式過(guò)濾器。內部濾材為德國進(jìn)口,從而保證儀器的檢測精度及運行穩定性。

    表面粒子計數器由三部分組成:

    掃描取樣頭:取樣的同時(shí)可以提供一定壓力的吹掃氣流,可以集成操作控制器;

    激光塵埃粒子計數器主機:主要由氣泵、傳感器、主控板、過(guò)濾器以及電池組成;

    連接主機與掃描采樣頭的管道:包括取樣管道與吹掃管道。

     

    主要技術(shù)參數

    檢測精度

    0.3μm(0.1μm可定制)

    檢測通度

    0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道

    (可定制:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm)

    計數效率

    0.3μm  50%±20%(第一粒徑通道)  0.5μm  100%±10%(第二粒徑通道)

    采樣流量

    28.3L/min  ±5%,可通過(guò)觸摸屏控制自行調整

    采樣時(shí)間

    0~24h

    重復性

    相對標準偏差≤10%

    粒徑準確度

    相對誤差≤10%

    自?xún)魰r(shí)間

    ≤10 min

    光源

    激光二極管,經(jīng)過(guò)特殊工藝優(yōu)化理論壽命為20年(MTT)或壽命大于40000小時(shí)

    顯示方式

    觸摸顯示屏

    允許最大采樣濃度

    35000顆/L(塵埃顆粒粒徑不小于0.3um),采樣空氣中不得含酸堿等腐蝕性氣體

    外形尺寸

    260mm×260mm×260mm

    重量

    7.5kg

    最大功耗

    35W

    電源

    16.8V內置鋰電池/DC16-24V外部寬電壓供電

    粒徑通道

    0.3um、0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um

    采樣周期

    3s、6s

    數據存儲

    5000

    表面材質(zhì)

    SUS316L

    連續工作時(shí)間

    8小時(shí)

    使用環(huán)境條件

    溫度:10-35℃      濕度:20-75RH     大氣壓:86-106kPa

    零計數

    ≤10分鐘內連續3分鐘為0

    執行標準

    ISO/FDIS 21501-4:2018、GB/T 6167-2007、JJF 1190-2008

    采樣口徑

    1/4”Flaretek™

    采樣溫度

    32-302°F(0-150℃)

    操作界面

    彩色觸摸屏控制便于操作和設定,能同時(shí)顯示6個(gè)通道的數據,分辨率320×240,屏幕數據縮放功能

    輸出方式

    內置熱敏打印機或485協(xié)議

    電源

    AC100~240V 50~60HZ

    語(yǔ)言

    中、英、德、日等多國語(yǔ)言

    保修

    兩年(儀器自身質(zhì)量)

     

    關(guān)鍵詞:
    • CLJ-3108T
    • 表面塵埃粒子計數器
    • 28.3L/min

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