HPC1100高壓控制器

產(chǎn)品名稱(chēng)：高壓控制器 產(chǎn)品型號：HPC1100 品牌：LIGHTHOUSE美國萊特浩斯 采樣流量：28．3L/min 粒徑范圍：0.1μm 或更大 流速：1.0 CFM 輸出壓力：接近大氣壓 輸入壓力：30-150 psi 尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cm

聯(lián)系我們

產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特色
應用范圍
技術(shù)參數

商品名稱(chēng): HPC1100高壓控制器
商品編號: HPC1100

HPC1100高壓控制器

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品名稱(chēng)：高壓控制器
產(chǎn)品型號：HPC1100
品牌：LIGHTHOUSE美國萊特浩斯
采樣流量：28．3L/min
粒徑范圍：0.1μm 或更大
流速：1.0 CFM
輸出壓力：接近大氣壓
輸入壓力：30-150 psi
尺寸：14.22 x 19.30 x 26.21 cm

設計采用了新技術(shù)，在高壓氣體成分，HPC 1100允許LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子計數器對高壓（30-150 psi）的惰性氣體系統提供工藝氣體污染的監測能力。

HPC 1100的不銹鋼設計堅固耐用，可靠，幾乎不需要日常維護和校準。在正常操作過(guò)程中，惰性氣體可被回收采樣過(guò)程中使用100％的供氣。

產(chǎn)品特色

特征

優(yōu)點(diǎn)

應用

可用于任何惰性氣體
輕松設置
安裝簡(jiǎn)單
前置流計
直觀(guān)的用戶(hù)控制
安靜的操作
快速清除和清理
VCR接頭內部和外部
不銹鋼結構

在正常操作過(guò)程中的零氣體廢物
近常壓輸出
低噪聲
小尺寸
便于系統集成
2年保修的
較低的擁有成本

工藝鑒定
半導體制程監控
平板過(guò)程監控
過(guò)程趨勢分析

主要技術(shù)參數及性能：
粒徑范圍	0.1μm 或更大
流速	1.0 CFM
輸出壓力	接近大氣壓
輸入壓力	30-150 psi
兼容氣體	氮，氬氣，氦氣
運行噪音	<60 db
外殼	不銹鋼
材質(zhì)	316L 不銹鋼
尺寸	5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]
重量	6 lbs (2.7 kg)
隨機配件	采樣管; VCR密封件; 尼龍螺帽；套圈
可選件	備用采樣管; 14英寸不銹鋼過(guò)濾器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)